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大視野目鏡：10X無限遠長工作距離明暗場物鏡：5X 10X 40X 60X 100X支持光學放大：50X-1000X
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一、用途
WMZ-9190明暗場硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭. 本儀器配有暗場物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產過程中常用的檢測儀器之一.
技術標準
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標準配置 |
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目鏡 |
大視野 WF10X(視場數(shù)Φ22mm) |
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無限遠長工作距離平場消色差物鏡 |
PL L5X/0.12 工作距離：26.1 mm |
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PL L10X/0.25 工作距離：20.2 mm |
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PL L40X/0.60 工作距離：3.98 mm |
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PL L60X/0.70 工作距離：3.18 mm |
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PL L100X/0.90 工作距離：2.2 mm （干式） |
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目鏡筒 |
30?傾斜,瞳距調節(jié)范圍53~75mm. |
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調焦機構 |
粗微動同軸調焦,帶鎖緊和限位裝置,微動格值:2μm. |
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轉換器 |
五孔(內向式滾珠內定位) |
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載物臺 |
雙層機械移動式載物臺, 外形尺寸:210mmX140mm,移動范圍:63mmX50mm |
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落射照明系統(tǒng) |
6V30W鹵素燈，亮度可調 |
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配置黃、藍、綠濾色片與磨砂玻璃片 |
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內置視場光欄、孔徑光欄、濾色片轉換裝置、推拉式檢偏器與起偏器 |
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透射照明系統(tǒng) |
阿貝聚光鏡NA.1.25可上下升降 |
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集光鏡中內置視場光欄 |
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配置藍濾色片與磨砂玻璃片 |
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6V30W鹵素燈、亮度可調 |
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防霉 |
防霉系統(tǒng) |
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系統(tǒng)組成 |
電腦型(WMZ-9190C) 1.硅片檢測顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.計算機（選購） |
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數(shù)碼型(WMZ-9190D) 1、硅片檢測顯微鏡 2、適配鏡 3、數(shù)碼相機（選購） |
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可選配件 |
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目鏡 |
分劃目鏡10X（Φ22mm） |
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物鏡 |
明場物鏡 20X、50X、80X |
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CCD接頭 |
0.5X、1X、0.5X帶分劃尺 |
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攝像儀 |
USB輸出：130/300/500/1000萬像素 |
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數(shù)碼相機接頭 |
CANON(EF) NIKON(F) |
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分析軟件 |
二維圖像測量分析軟件 |
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